Hochreine, kundenspezifische Kupfertargets (4N-6N)
Video
Wichtige Prozessmerkmale
Das auf Extrusion basierende Herstellungsverfahren gewährleistet überlegene Materialeigenschaften und Formgenauigkeit:
●Hochreines Ausgangsmaterial: Ausgewähltes Elektrolytkupfer mit nachweislich niedrigem Sauerstoff- und Verunreinigungsgrad.
●Vakuumschmelzen & Legieren: Durch wiederholtes Vakuuminduktionsschmelzen wird eine homogene Zusammensetzung mit einer Reinheit von 4N-6N erreicht.
●Rohlingherstellung: Gießen zu zylindrischen Rohlingen, gefolgt von Homogenisieren für ein gleichmäßiges Korn.
●Warmfließpressen: Durch präzises Warmfließpressen mit kundenspezifischen Düsen entstehen komplexe Querschnitte mit hervorragender Dichte und Fließeigenschaften.
●Kaltverformung & Glühen: Kontrolliertes Ziehen und Wärmebehandlung verfeinern das Gefüge und bauen Spannungen ab.
●Präzisionsbearbeitung: CNC-Bearbeitung und Oberflächenpolitur erzeugen glatte Sputterflächen auf allen Profiloberflächen.
●Bonding-Service: Optionale Bondierung mit niedrigschmelzendem Indium auf kompatible Trägerrohre oder -platten.
●Reinraumhandhabung: Endreinigung und Vakuumverpackung verhindern Kontamination.
Qualitätskontrollsystem
● Vollständige Rückverfolgbarkeit von der Rohkupferkathode bis zum fertigen, geformten Target
● Umfassendes Zertifizierungspaket ist bei jeder Lieferung enthalten
● Archivproben werden mindestens 3 Jahre lang für Analysen durch Dritte (SGS, BV usw.) aufbewahrt.
● 100%ige Überprüfung der wichtigsten Merkmale:
• Reinheit und Elementaranalyse (GDMS/ICP-MS; typischer Sauerstoffgehalt <5 ppm)
• Dichteprüfung (>99 % theoretisch durch Extrusion)
• Mikrostruktur und Kornhomogenität (metallographische Prüfung)
• Profilmaßgenauigkeit (3D-Koordinatenmessgerät; typische Toleranzen ±0,1 mm)
• Oberflächenbeschaffenheit und fehlerfreier Zustand (Profilometer + Sichtprüfung)
● Interne Standards übertreffen die Anforderungen der ASTM F68. Typische Eigenschaften extrudierter Bauteile: Hervorragende Leitfähigkeit >400 W/m·K, ausgezeichnete Formbeständigkeit beim Sputtern, gleichbleibende Leistung in komplexen Magnetron-Konfigurationen.
● Reinraumkompatible Arbeitsabläufe und eine nach ISO 9001:2015 zertifizierte Produktion garantieren zuverlässige, leistungsstarke Ergebnisse, die auf Ihre speziellen Beschichtungsanforderungen zugeschnitten sind.










